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Semiconductor/Display
반도체 제조 전체 공정의 물류시스템과 최신 Smart Factory
기술이 접목된 개발/사업화를 제공합니다.
OHT
(Overhead Hoist Transport)
반도체 제조라인 천장에 설치된
상부 레일을 따라 이동하는 고효율
운송수단
STB
(Side Track Buffer)
OHT 주행레일 측면에 위치한 저장공간으로 공정을 마친 FOUP(웨이퍼 저장 용기)을 저장
Lifter
(Zip Tower)
반도체 공정 중 층간 또는 층 내
단차가 있는 곳에서 FOUP(웨이퍼
저장 용기)을 수직 반송해 주는 장비
Probe Card STK
테스트 단계에서 테스트 장비와
반도체 웨이퍼의 개별 장치 간에
전기적 연결 설정
Stocker
생산 공정간 물류 이송시스템으로 FOUP(웨이퍼 저장 용기)의 저장 및 이송기능 담당
Autonomous
Mobile Robot
반도체 생산의 서로 다른 단계 간에 제품을 자율적으로 전송
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